반도체 검사 설비 핸들러의 수직 운동 가이드로 적용 되었습니다.
반도체 후공정 Final Test 공정 및 Module/SSD 검사 공정에서 주검사장치인 테스터에 반도체 소자를 이송하고 , 테스트 온도 환경을 제공하며, 테스터의 검사결과에 따라 불량 유무를 판단하고 분류하는 검출장비인 “핸들러”의 수직(vertical) 작동의 리니어모션 가이드로 적용 되었습니다.
●요구 사항 : 고온 작동 환경에서 볼 이탈 없는 리니어 모션 가이드
반도체 후공정 Final Test 공정 및 Module/SSD 검사 공정에서 주검사장치인 테스터에 반도체 소자를 이송하고 , 테스트 온도 환경을 제공하며, 테스터의 검사결과에 따라 불량 유무를 판단하고 분류하는 검출장비인 “핸들러”의 수직(vertical) 작동의 리니어모션 가이드로 적용 되었습니다.
●요구 사항 : 고온 작동 환경에서 볼 이탈 없는 리니어 모션 가이드
●개선 사항 : 기존 리니어 모션 가이드를 사용한 핸들러 설비는 볼 이탈 현상이 발생하고 이탈된 볼이 검사제품 표면에 찍혀 불량이 발생하여 설비 유지보수 비용이 발생합니다. EP LM GUIDE는 볼이 없는 슬라이딩 작동방식으로 볼이탈에 대한 우려가 없고 무급유 제품으로 유지보수가 필요 하지 않습니다.
설치구조 : 수직(vertical)
작동방식 : 볼 스크류(ball screw)
구동위치 : 중앙(center)
가이드 구성 : 2개(1block / 1rail)